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《真空》
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作品数:3731被引量:3467H指数:17
issn:1002-0322cn:21-1174/TB
主办单位:中国机械工业集团公司有限公司 沈阳真空技术研究所
发文主题:真空 真空技术 磁控溅射 真空系统 真空泵
发表作品发文机构发文作者相关期刊发文主题发文基金发文领域360°网络图分析报告
《真空科学与技术学报》
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作品数:3051被引量:4436H指数:17
曾用名:真空科学与技术
issn:1672-7126cn:11-5177/TB
主办单位:中国真空学会
发文主题:磁控溅射 真空 性能研究 等离子体 数值模拟
发表作品发文机构发文作者相关期刊发文主题发文基金发文领域360°网络图分析报告
《四川真空》
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作品数:395被引量:29H指数:3
主办单位:四川省真空学会 国投南光有限公司
发文主题:真空泵 HL 托卡马克装置 真空 半导体
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